ナノインプリント用モールド

Mold for nanoimprint

Abstract

【課題】転写用の凹凸面の面積が大きい場合であっても、つなぎ目を設けることなく容易に製造されることが可能なナノインプリント用モールドを提供すること。 【解決手段】液晶性ポリシランを含有し、該液晶性ポリシランが配向してスメクチック相を形成することによって形成された凹凸面を有する、ナノインプリント用モールド。 【選択図】図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mold for nanoimprint easy to be manufactured without providing a seam, even when an area of an irregular face for transfer is wide. <P>SOLUTION: The mold for nanoimprint includes the irregular face containing a liquid crystal polysilane and formed by forming a smectic phase by orientation of the liquid crystalline polysilane. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

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Patent Citations (5)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2004244545-ASeptember 02, 2004Japan Science & Technology Agency, Nara Institute Of Science & Technology, 奈良先端科学技術大学院大学長, 独立行政法人 科学技術振興機構Polysilane and polymer liquid crystal material using it
    JP-2005029694-AFebruary 03, 2005Japan Science & Technology Agency, Nara Institute Of Science & Technology, 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学, 独立行政法人科学技術振興機構高分子の配向制御方法
    JP-2005036094-AFebruary 10, 2005Japan Science & Technology Agency, Nara Institute Of Science & Technology, 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学, 独立行政法人科学技術振興機構Polymer liquid crystal material
    JP-2005510436-AApril 21, 2005ユニバーシティー オブ マサチューセッツメソポーラス材料および方法
    JP-2007524519-AAugust 30, 2007ユニバーシティー オブ マサチューセッツ構造化材料および方法

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Cited By (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2013038117-AFebruary 21, 2013Jx Nippon Oil & Energy Corp, Jx日鉱日石エネルギー株式会社Transfer head for transferring micropattern and method for forming micropattern using the same
    JP-2015502668-AJanuary 22, 2015キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド, モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッドインプリントリソグラフィー用のシームレスな大面積マスターテンプレートの製造方法